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净化工程空气洁净度等级与美国FS209E洁净等级
GBJ73-84洁净度等级   等级每立方米(升)空气中》0 5μm尘粒数每立方米(升)空气中》5μm尘粒数100《35*100(〈3 5〉​1000《35*1

GBJ73-84洁净度等级   

等级 每立方米(升)空气中》0.5μm尘粒数 每立方米(升)空气中》5μm尘粒数
100 《35*100(〈3.5〉
1000 《35*1000(〈35〉 《250(〈0.25〉
10000 《35*10000(〈350〉 《2500(〈2.5〉
100000 《35*100000(〈3500〉 《25000(〈25〉

美国FS209E洁净等级

  
等级名称 等级限值  
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm  
容积单位 容积单位 容积单位 容积单位 容积单位  
国际单位 英制 单位 m Ft m Ft m Ft m Ft m Ft
M1.0 350 9。91 75.7 2.14 30。9 0.875 10 0。283 / /
M1。5 1 1240 35.0 265.0 7.5 106 3 35.3 1 / /
M2.0 3500 99.1 757 21。4 309 8.75 100 2。83 / /
M2.5 10 12400 350.0 2650 75 1060 30 353 10 / /
M3.0 35000 991。0 7570 214 3090 87。5 1000 28.3 / /
M3.5 100 / / 26500 750 10600 300 3530 100 / /
M4。0 / / 75700 2140 30900 875 10000 283 / /
M4.5 1000 / / / / / / 35300 1000 247 7
M5.0 / / / / / / 100000 2830 618 17。5
M5.5 10000 / / / / / / 353000 10000 2470 70
M6.0 / / / / / / 1000000 28300 6180 175
M6.5 100000 / / / / / / 3530000 100000 24700 700
M7.0 / / / / / / 10000000 283000 61800 1750

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