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2015年净化工程洁净等级标准规范
ISO14644-1和GB50073-2001的空气洁净度级别ISO等级大于或等于表中所示粒径的粒子最大浓度限值(个 每立方米空气)序数(N)0 1μm0 2μ
ISO14644-1和GB50073-2001的空气洁净度级别
ISO等级 大于或等于表中所示粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气)
序数(N)

0.1μm

0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm 对应传统洁净度分级
ISO 1 级 10 2          
ISO 2 级 100 24 10 4      
ISO 3 级 1000 237 102 35 8   1级
ISO 4 级 10000 2370 1020 352 83   10级
ISO 5 级 100000 23700 10200 3520 832 29 百级
ISO 6 级 1000000 237000 102000 35200 8320 293 千级
ISO 7 级       352000 83200 2930 万级
ISO 8 级       3520000 832000 29300 10万级
ISO 9 级       35200000 8320000 293000 30万级

欧洲洁净度级别草案CEN/TC243
级别 粒/m3
0。1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm 10μm
0 20 6   (1)      
1 250 63 28 10      
2 2500 625 278 100 25    
3 25000 6250 2778 1000 250 10  
4   62500 27778 10000 2500 100 25
5       100000 25000 1000 250
6       1000000 250000 10000 2500
7       (10000000) 2500000 100000 25000
注:()内数字供参考

日本洁净度级别(JIS-9920)
粒径/μ 个/m3
1级 2级 3级 4级 5级 6级 7级 8级
0.1 101 102 103 104 105 106 107 108
0.2 2 24 236 2360 23600 _ _ _
0.3 1 10 101 1010 10100 101000 1010000 10100000
0.5 (0。35) (3.5) 35 350 3500 35000 350000 3500000
5.0         29 290 2900 29000
粒径范围/μm 0。1~0。3 0.1~0.5 0。1~5。0 0.3~5.0

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